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● 產(chǎn)品用途：特殊軸承構(gòu)造非常順暢的作動(dòng)，能令玻璃卡匣移送載具輕松完成定位的stage
● 產(chǎn)品性能：荷重150kgf~800kgf ；摩擦系數(shù)低、專業(yè)的軸承構(gòu)成，耐久性佳；模組化設(shè)計(jì)、安裝容易
● 荷載釋放后，可迅速恢復(fù)至原點(diǎn)待命，提供氣壓鎖定功能產(chǎn)品，防止晃動(dòng)，適用于各制程的玻璃儲(chǔ)藏結(jié)構(gòu)
● 符合無塵室使用要求，可提供客制品

使用機(jī)構(gòu)實(shí)例：

G7.5代玻璃卡匣：